제목 | 반도체 발광 소자의 제조 방법 및 그 반도체 발광 소자(MANUFACTURING METHOD OF LIGHT EMITTING DIODE AND THE LIGHT EMITTING DIODE) | ||
---|---|---|---|
출원번호 | 10-2015-0088679 | 출원일자 | 2015-06-22 |
등록번호 | 10-1743351 | 등록일자 | 2017-05-29 |
발명자 | 이종람 | 김범준 | 박재용 | 출원인 | 포항공과대학교 산학협력단 |
기술 내용 | 본 발명은 반도체 발광 소자의 제조 방법 및 그 반도체 발광 소자에 관한 것이다. 본 발명의 일 실시예에 따른 반도체 발광 소자의 제조 방법은 질화물계 반도체층을 형성하는 단계; 상기 질화물계 반도체층 또는 그 상부에 복수의 구조물을 형성하는 단계; 상기 복수의 구조물 각각의 상부에 금속 박막을 증착하고 플라즈마 처리 후 식각하여 추가 나노구조물을 형성하는 단계; 및 상기 추가 나노구조물을 식각용 마스크로 사용하고 상기 구조물을 식각하여 복합 나노구조물을 형성하는 단계를 포함한다. |