| 제목 | 다중 나노패턴의 형성방법 및 그를 이용한 유기태양전지의 제조방법(METHOD FOR FORMING MULTIPLE PATTERNS AND METHOD FOR PRODUCING AN ORGANIC SOLAR CELL USING THE SAME) | ||
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| 출원번호 | 10-2016-0119387 | 출원일자 | 2016-09-19 |
| 등록번호 | 10-1794191 | 등록일자 | 2017-10-31 |
| 발명자 | 오준학 | 이윤호 | 출원인 | 포항공과대학교 산학협력단 |
| 기술 내용 | 본 발명은 (a) 기판 상에 블록공중합체층을 형성하는 단계; (b)블록공중합체층을 자기조립시켜 복수의 패턴을 포함하는 상분리된 블록공중합체층을 제조하는 단계; (c) 나노 크기의 패턴이 형성된 나노 임프린팅 스탬프를 이용하여 상분리된 블록공중합체층 상에 스탬핑하는 단계; (d) 복수의 패턴 중에서 적어도 어느 하나를 제거하여 다중 나노패턴이 형성된 블록공중합체층을 제조하는 단계; (e) 다중 나노패턴이 형성된 블록공중합체층을 마스크로 이용하여 에칭을 수행함으로써 다중 나노패턴이 형성된 기판을 제조하는 단계; (f) 다중 나노패턴이 형성된 기판을 표면 처리하는 단계; 및 (g) 다중 나노패턴이 형성된 기판 상에 액상의 중합체를 코팅한 후 열처리하여 다중 나노패턴이 형성된 스탬프를 제조하는 단계;를 포함하는 다중 나노패턴의 형성방법에 관한 것이다. | ||
