제목 | 전자소자용 금속 기판의 제조 방법(MANUFACTURING MATHOD OF METAL SUBSTRATE FOR ELECTRONIC DEVICE) | ||
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출원번호 | 10-2016-0049386 | 출원일자 | 2016-04-22 |
등록번호 | 등록일자 | 0000-00-00 | |
발명자 | 김승오 | 이종람 | 출원인 | 포항공과대학교 산학협력단 |
기술 내용 | 본 발명은 전자소자용 금속 기판의 제조 방법에 관한 것이다. 본 발명의 일 실시예에 따르면, 모기판의 표면에너지를 조절하는 단계; 상기 모기판 상에 시드층을 형성하는 단계; 상기 시드층 상에 시드 보호층을 형성하는 단계; 전기 도금 공정으로 상기 시드 보호층 상에 도금층을 형성하는 단계; 및 상기 모기판으로부터 상기 도금층을 분리하는 단계를 포함하는 전자소자용 금속 기판의 제조 방법을 제공한다. |