| 제목 | 산화물 반도체 조성물 및 이를 이용하는 산화물 반도체 박막/박막 트랜지스터 제조 방법(COMPOSITION FOR OXIDE SEMICONDUCTOR AND METHOD FOR MANUFACTURING OXIDE SEMICONDUCTOR THIN FILM/THIN FILM TRANSISTOR USING THE SAME) | ||
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| 출원번호 | 10-2015-0138368 | 출원일자 | 2015-10-01 |
| 등록번호 | 10-1798293 | 등록일자 | 2017-11-09 |
| 발명자 | 김현재 | 김나은 | 김영규 | 출원인 | 연세대학교 산학협력단 |
| 기술 내용 | 산화물 반도체 박막을 위한 산화물 반도체 조성물 및 이를 이용하는 산화물 반도체 박막/박막 트랜지스터 제조 방법에 관한 기술이 개시된다. 개시된 산화물 반도체 박막 제조 방법은 아세틸 아세톤 기반의 산화물 반도체 전구체를 포함하는 산화물 반도체 조성물을 기판에 도포하여, 산화물 반도체 박막을 형성하는 단계; 및 상기 산화물 반도체 박막을 패터닝하는 단계를 포함한다. | ||
