제목 전이금속 칼코겐화합물 기반 광센서 소자 어레이 구조(TRANSITION METAL DICHALCOGENIDE BASED PHOTO SENSOR ARRAY STRUCTURE)
출원번호 10-2016-0053286 출원일자 2016-04-29
등록번호 등록일자 0000-00-00
발명자 전상훈 출원인 고려대학교 세종산학협력단
기술 내용 전이금속 칼코겐화합물 광센서 어레이 구조가 개시된다. 전이금속 칼코겐화합물 광센서 어레이 구조는, 제 1 박막 트랜지스터, 제 2 박막 트랜지스터, 및 차광부를 포함한다. 제 1 박막 트랜지스터는 제 1 소스 전극, 제 1 드레인 전극, 및 제 1 소스 전극과 제 1 드레인 전극 사이에 형성된 전이금속 칼코겐화합물의 제 1 채널 영역을 포함하고, 제 2 박막 트랜지스터는 제 1 소스 전극과 연결되는 제 2 드레인 전극, 제 2 소스 전극, 및 제 2 소스 전극과 제 2 드레인 전극 사이에 형성된 전이금속 칼코겐화합물의 제 2 채널 영역을 포함하며, 차광부는 제 1 박막 트랜지스터와 제 2 박막 트랜지스터 중 스위치 소자로 설정된 트랜지스터의 채널 영역으로 입사되는 광을 차단하고 센서 소자로 설정된 트랜지스터의 채널 영역으로 입사되는 광을 통과시킨다.
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