제목 | 전이금속 칼코겐화합물 기반 광센서 소자 어레이 구조(TRANSITION METAL DICHALCOGENIDE BASED PHOTO SENSOR ARRAY STRUCTURE) | ||
---|---|---|---|
출원번호 | 10-2016-0053286 | 출원일자 | 2016-04-29 |
등록번호 | 등록일자 | 0000-00-00 | |
발명자 | 전상훈 | 출원인 | 고려대학교 세종산학협력단 |
기술 내용 | 전이금속 칼코겐화합물 광센서 어레이 구조가 개시된다. 전이금속 칼코겐화합물 광센서 어레이 구조는, 제 1 박막 트랜지스터, 제 2 박막 트랜지스터, 및 차광부를 포함한다. 제 1 박막 트랜지스터는 제 1 소스 전극, 제 1 드레인 전극, 및 제 1 소스 전극과 제 1 드레인 전극 사이에 형성된 전이금속 칼코겐화합물의 제 1 채널 영역을 포함하고, 제 2 박막 트랜지스터는 제 1 소스 전극과 연결되는 제 2 드레인 전극, 제 2 소스 전극, 및 제 2 소스 전극과 제 2 드레인 전극 사이에 형성된 전이금속 칼코겐화합물의 제 2 채널 영역을 포함하며, 차광부는 제 1 박막 트랜지스터와 제 2 박막 트랜지스터 중 스위치 소자로 설정된 트랜지스터의 채널 영역으로 입사되는 광을 차단하고 센서 소자로 설정된 트랜지스터의 채널 영역으로 입사되는 광을 통과시킨다. |