| 제목 | 압력 센서 소자 및 압력 센서 소자 제조 방법(PRESSURE SENSOR DEVICE AND METHOD FOR FABRICAING THE PRESSURE SENSOR DEVICE) | ||
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| 출원번호 | 10-2016-0056552 | 출원일자 | 2016-05-09 |
| 등록번호 | 등록일자 | 0000-00-00 | |
| 발명자 | 전상훈 | 정민현 | 출원인 | 고려대학교 세종산학협력단 |
| 기술 내용 | 압력 센서 소자, 및 그 제조 방법이 개시된다. 압력 센서 소자는, 기판, 기판상에 형성되는 유연 재질의 절연성 물질층, 및 절연성 물질층상에 형성된 전도성 물질층 포함하며, 절연성 물질층은 상층의 면적이 하층보다 좁아지는 다층 구조의 돌출부를 포함한다. 이와 같은 구성에 의하면, 뿔형 구조 외측에 계단 형태의 골짜기 구조를 형성하여 보다 많은 양의 전도성 물질을 유연 재질의 절연성 물질층 상에 보유할 수 있게 되어, 반복적인 외력 인가에도 우수한 유연성과 고감도의 특성을 유지할 수 있는 신뢰성 높은 압력 센서 소자를 제작할 수 있게 된다. | ||
