| 제목 | FET형 센서 어레이(FET-TYPE SENSOR ARRAY) | ||
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| 출원번호 | 10-2017-0068247 | 출원일자 | 2017-06-01 |
| 등록번호 | 등록일자 | 0000-00-00 | |
| 발명자 | 이종호 | 홍윤기 | 출원인 | 서울대학교산학협력단 |
| 기술 내용 | 본 발명은 FET형 센서 어레이에 관한 것이다. 상기 FET형 센서 어레이는 다수 개의 FET형 센서들이 하나의 기준점으로부터 임의의 거리에 배치된 것을 특징으로 하고, 상기 각 FET형 센서의 동일 영역이 기준점과 대향하도록 배치되는 것을 특징으로 하며, 상기 FET형 센서는 제어 전극, 플로팅 전극, 상기 제어 전극과 플로팅 전극의 사이에 위치한 감지 물질층, 상기 플로팅 전극의 하부의 양측에 형성된 소스/드레인 영역을 구비한다. 본 발명에 따른 FET형 센서 어레이는, 이를 구성하는 FET형 센서의 소형화, 그리고 센서에 내장된 마이크로 히터 및 감지 물질층 주변 공기층의 새로운 디자인을 통해서 마이크로 히터의 전력 소모를 줄일 수 있다. 또한, 센서들을 효율적으로 배치하여 센서 어레이가 차지하는 면적을 줄일 수 있고, 인접한 마이크로 히터에 의해서도 감지 물질을 가열할 수 있게 되어 전체 전력 소모 또한 줄일 수 있다. | ||
