| 제목 | 하프니아 계열 강유전체를 포함하는 반도체 소자, 및 그 제조 방법(SEMICONDUCTOR DEVICE COMPRISING HAFNIA SERIES FERROELECTRICS AND FABRICATION METHOD OF THE DEVICE) | ||
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| 출원번호 | 10-2016-0096242 | 출원일자 | 2016-07-28 |
| 등록번호 | 등록일자 | 0000-00-00 | |
| 발명자 | 전상훈 | 김태호 | 출원인 | 고려대학교 세종산학협력단 |
| 기술 내용 | 하프니아 계열 강유전체를 포함하는 반도체 소자, 및 그 제조 방법이 개시된다. 반도체 소자는, 하프니아 계열의 강유전체층을 포함하는 반도체 소자로서, 강유전체층은 미리 설정된 기준 기압보다 높은 기압에서 열처리가 수행된다. 하프니아 계열의 강유전체층을 미리 설정된 기준 압력보다 높은 압력에서 열처리를 수행하여 반도체 소자에 적용함으로써, 강유전체층이 낮은 온도에서의 열처리에도 우수한 특성을 유지할 수 있게 된다. | ||
