| 제목 | 수평형 플로팅 게이트를 갖는 3차원 핀펫형 가스 감지소자(3-DIMENSIONAL FIN FET TYPE GAS-SENSITIVE DEVICE HAVING HORIZONTAL FLOATING GATE) | ||
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| 출원번호 | 10-2013-0020763 | 출원일자 | 2013-02-26 |
| 등록번호 | 10-1495627 | 등록일자 | 2015-02-16 |
| 발명자 | 이종호 | 김창희 | 출원인 | 서울대학교산학협력단 |
| 기술 내용 | 본 발명은 3차원 핀펫형 가스 감지소자에 관한 것으로, 수평 방향으로 형성된 플로팅 전극 구조를 가짐으로써, 종래 수직방향으로 적층된 플로팅 전극, 감지물질층, 제어 전극을 갖는 가스 감지소자에 비해 잡음감소, 공정단순화, 오염방지, 감지속도개선, 다양한 감지물질 적용 가능, 기계적 안정성 등의 장점을 갖고, 다양한 감지 기작으로 동작하는 복수 개의 가스 감지소자를 하나의 기판에 쉽게 구현할 수 있는 효과가 있다. | ||
