| 제목 | 반도체 결정화 장치, 이의 제조 방법 및 이를 이용한 반도체 결정화 방법(SEMICONDUCTOR CRYSTALLIZATION APPARATUS, METHOD OF MANUFACTURING THEREOF AND METHOD OF CRYSTALLIZING USING THE SAME) | ||
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| 출원번호 | 10-2008-0098644 | 출원일자 | 2008-10-08 |
| 등록번호 | 10-1513245 | 등록일자 | 2015-04-13 |
| 발명자 | 황태형 | 김현재 | 김도경 | 정태훈 | 정웅희 | 이충희 | 출원인 | 삼성디스플레이 주식회사 | 연세대학교 산학협력단 |
| 기술 내용 | 비정질 실리콘의 국부적인 결정화가 가능한 결정화 장치를 개시한다. 결정화 장치는 외부로부터 발열 소스를 제공받아 열을 발산하는 발열부, 발열부를 지지하고, 발열 소스를 발열부로 제공하는 지지부, 및 발열부를 내부에 수납하고, 복수의 개구부가 형성되어 열을 대상물에 제공하는 롤러를 포함한다. 따라서, 기판의 손상없이 국부적으로 결정화를 할 수 있다. | ||
