제목 |
표시기판의 반도체 결정화 장치, 이의 제조 방법 및 이를 이용한 반도체 결정화 방법(SEMICONDUCTOR CRYSTALLIZATION APPARATUS FOR DISPLAY SUBSTRATE, METHOD OF MANUFACTURING THEREOF AND METHOD OF CRYSTALLIZING USING THE SAME)
|
출원번호 |
10-2014-0131458
|
출원일자 |
2014-09-30
|
등록번호 |
10-1535268
|
등록일자 |
2015-07-02
|
발명자 |
황태형 | 김도경 | 김현재 | 이충희 | 정웅희 | 정태훈
|
출원인 |
삼성디스플레이 주식회사 | 연세대학교 산학협력단
|
기술 내용 |
비정질 실리콘의 국부적인 결정화가 가능한 표시기판의 반도체 결정화 장치를 개시한다. 결정화 장치는 외부로부터 발열 소스를 제공받아 열을 발산하는 발열부, 발열부를 지지하고, 발열 소스를 발열부로 제공하는 지지부, 및 발열부를 내부에 수납하고, 복수의 개구부가 형성되어 열을 대상물에 제공하는 롤러를 포함한다. 따라서, 기판의 손상없이 국부적으로 결정화를 할 수 있다.
|