제목 셀 스트링 및 상기 셀 스트링에서의 읽기 방법(Cell string and method for reading of the cell string)
출원번호 10-2014-0065533 출원일자 2014-05-30
등록번호 10-1538071 등록일자 2015-07-14
발명자 이종호 | 조성민 출원인 서울대학교산학협력단
기술 내용 본 발명은 셀 스트링 및 이의 읽기 방법에 관한 것이다. 상기 셀 스트링은, 절연층 표면에 형성된 반도체 바디; 상기 반도체 바디의 양단에 각각 형성되되 서로 다른 유형의 불순물로 도핑되어 형성된 제1 반도체 영역과 제2 반도체 영역; 서로 이격 배치되어 전기적으로 분리된 2개 이상의 제어전극; 및 상기 반도체 바디와 상기 제어전극 사이에 형성된 게이트 절연막 스택;을 구비하고, 상기 반도체 바디는 적어도 2층으로 구성되되 인접한 층 사이에는 에너지 밴드갭이 서로 다른 것을 특징으로 하며, 상기 반도체 바디는 진성 반도체로 구성되거나 불순물이 도핑된 것을 특징으로 하며, 상기 제1 반도체 영역과 제2 반도체 영역은 반도체 바디보다 높은 농도로 도핑된 것을 특징으로 한다.
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