| 제목 | 나노 임프린트 몰드 제조방법, 이 방법에 의해 제조된 나노 임프린트 몰드를 이용한 발광다이오드 제조방법 및 이 방법에 의해 제조된 발광다이오드(METHOD FOR MANUFACTURING NANO-IMPRINT MOLD, METHOD FOR MANUFACTURING LIGHT EMITTING DIODE USING THE NANO-IMPRINT MOLD AND LIGHT EMITTING DIODE BY THE METHOD) | ||
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| 출원번호 | 10-2014-0015249 | 출원일자 | 2014-02-11 |
| 등록번호 | 등록일자 | 0000-00-00 | |
| 발명자 | 김경준 | 송양희 | 이종람 | 출원인 | 포항공과대학교 산학협력단 |
| 기술 내용 | 본 발명은 금속 기판을 이용한 나노 임프린트 몰드 제조방법에 관한 것이다. 본 발명에 따른 나노 임프린트 몰드의 제조방법은, 금속 기판 상에 폴리머 필름을 형성하고 가열하는 단계, 패턴이 형성된 임프린트 몰드로 상기 폴리머 필름을 가압하여 상기 패턴이 상기 폴리머 필름에 전사되도록 단계, 상기 임프린트 몰드를 제거하는 단계 및 상기 금속 기판과 폴리머 필름을 냉각하는 단계를 포함하고, 상기 금속 기판의 열팽창 계수 또는 가열 온도를 조절하여 형성되는 패턴의 치수를 조절하는 것을 특징으로 한다. | ||
