| 제목 | 박막의 버클링 형성방법 및 이를 이용한 소자(METHOD OF FORMING BUCKLING OF THIN FILMS AND A ELEMENT USING THE THIN FILMS) | ||
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| 출원번호 | 10-2013-0098368 | 출원일자 | 2013-08-20 |
| 등록번호 | 10-1547731 | 등록일자 | 2015-08-20 |
| 발명자 | 김성주 | 이종람 | 김성준 | 출원인 | 포항공과대학교 산학협력단 |
| 기술 내용 | 본 발명은 광학적 특성 또는 기계적 특성에서 용도가 제한적인 연질 재료를 사용하지 않고, 무기화합물로 이루어진 경질 박막 형성이 가능한 졸겔 용액을 이용하여 자가발생적으로 버클링이 형성되도록 하는 방법에 관한 것이다. 본 발명에 따른 방법은, 기판에 졸겔 용액을 도포한 후 경화시켜 박막을 형성할 때, 상기 졸겔 용액에 포함되며 상기 졸겔 용액의 건조 속도를 늦추는 안정제의 양을 제어함으로써, 상기 졸겔 용액의 경화 과정에 자가발생적인 버클링이 형성되도록 한다. | ||
