| 제목 | 용액 공정 기반 적층형 산화물 박막 트랜지스터 바이오 센서 및 그를 제조하는 제조 방법(BIO SENSOR USING SOLUTION-PROCESSED MULTI-STACKED OXIDE THIN FILM TRANSISTOR AND METHOD FOR MANUFACTURING THE SAME) | ||
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| 출원번호 | 10-2013-0078509 | 출원일자 | 2013-07-04 |
| 등록번호 | 10-1607938 | 등록일자 | 2016-03-25 |
| 발명자 | 김현재 | 김시준 | 정주혜 | 윤두현 | 박성하 | 김병훈 | 출원인 | 연세대학교 산학협력단 | 성균관대학교산학협력단 |
| 기술 내용 | 본 발명은 바이오 센서 및 그를 제조하는 제조 방법에 관한 것이다. 본 발명의 일 실시예에 따른 바이오 센서는, 기판; 상기 기판 위에 형성된 게이트; 상기 게이트 위에 형성된 게이트 절연 층; 상기 게이트 절연 층 위에 적층된 다수의 산화물 반도체 층; 및 상기 산화물 반도체 층 위에 형성된 소스 및 드레인;을 포함할 수 있다. | ||
