| 제목 | 마이크로 패턴 및 나노 패턴을 동시에 형성하는 유기발광다이오드의 제조방법(A METHOD FOR FABRICATING AN ORGANIC LIGHT EMITTING DIODE BY SIMULTANEOUSLY FORMING A MICRO PATTERN AND A NANO PATTERN) | ||
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| 출원번호 | 10-2015-0050165 | 출원일자 | 2015-04-09 |
| 등록번호 | 10-1608717 | 등록일자 | 2016-03-29 |
| 발명자 | 주병권 | 하현준 | 황보연 | 이종희 | 주철웅 | 이정익 | 출원인 | 고려대학교 산학협력단 | 한국전자통신연구원 |
| 기술 내용 | 본 발명은 마이크로 패턴 및 나노 패턴의 동시에 형성하는 유기발광다이오드의 제조방법에 관한 것이다. 본 발명은 (a) 기판 위에 애노드를 형성하는 단계 (b) 상기 애노드 위에 화소형성층으로 사용될 감광층을 형성하는 단계 (c) 상기 감광층에 마이크로 패턴을 노광하는 단계 (d) 상기 감광층에 나노 패턴을 노광하는 단계 (e) 상기 감광층을 식각하여 마이크로 패턴 및 나노 패턴을 함께 가지는 화소형성층을 형성하는 단계 (f) 상기 패턴 내에 유기물질층을 형성하는 단계 및 (g) 상기 유기물질층 위에 캐소드를 형성하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 한다. 본 발명에 의하면, UV 리소그래피 공정을 통하여 여러 가지 모양과 배열을 가지는 픽셀 구조를 제작할 수 있으며, 동시에 마이크로 패턴 안에 레이저 간섭 리소그래피 공정으로 나노 스케일의 라인 또는 홀 패턴을 주기적으로 형성할 수 있다. | ||
