| 제목 | 삼차원 나노브렌치 형태의 이종접합체 구조를 갖는 발광다이오드 및 그 제조방법(LIGHT-EMITTING DIODES WITH NANOWIRE HETEROSTRUCTURES OF THREE-DIMENSIONAL BRANCHED FABRICATION AND MANUFACTURING METHOD THEREOF) | ||
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| 출원번호 | 10-2014-0011105 | 출원일자 | 2014-01-29 |
| 등록번호 | 10-1614094 | 등록일자 | 2016-04-14 |
| 발명자 | 백정민 | 예병욱 | 이종람 | 김범준 | 박재용 | 출원인 | 울산과학기술원 | 포항공과대학교 산학협력단 |
| 기술 내용 | 본 발명에 따른 삼차원 나뭇가지 형태의 이종접합체 구조를 갖는 발광다이오드 제조방법은 (a) 실리콘 웨이퍼 기판 위에 질화물갈륨계 발광 다이오드 에픽 박막을 성장시키는 단계; (b)에피 박막을 떼어내는 과정을 거쳐 발광 다이오드를 완성하는 단계; (c) 발광 다이오드의 상부 전극에 ZnO 나노선 성장 방지를 위해 포토레지스트로 막을 형성시키는 단계; 및 (d) ZnO 나노선 성장 방지를 위한 포토레지스트로 막이 형성된, 발광 다이오드 소자 표면에 이종접합체 나노선 구조를 형성시키키는 단계;를 포함하여 발광 다이오드의 광 추출효유을 향상기키는 효과가 있다. | ||
