| 제목 | 내습성이 향상된 배리어 필름의 제조방법 및 이에 의해 제조된 배리어 필름(The method for manufacturing a barrier film with enhanced moisture resistance and the barrier film produced thereby) | ||
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| 출원번호 | 10-2016-0129176 | 출원일자 | 2016-10-06 |
| 등록번호 | 등록일자 | 0000-00-00 | |
| 발명자 | 이지용 | 박정우 | 김현재 | 출원인 | 현대자동차주식회사 | 연세대학교 산학협력단 |
| 기술 내용 | 본 발명은 우수한 내습성을 지니는 배리어 필름 제작을 위해서, 스퍼터링 증착(sputtering deposition)이나 원자층 증착(Atomic Layer Deposition, ALD)을 통해 증착된 산화물 박막에 추가적으로 특정 조건에서 고압 열처리 공정을 포함하는 배리어 필름의 제조방법과 이에 의해 제조된 배리어 필름에 관한 것이다. 본 발명은 열에너지와 압력 에너지를 동시에 활용하여 낮은 공정온도에서 배리어 필름의 내습성을 향상시킬 수 있어, 태양전지의 배리어 필름으로 유용하게 사용될 수 있다. | ||
