제목 |
산화물 반도체 형성용 조성물, 이를 이용한 잉크젯 프린팅 공정 및 상기 산화물 반도체 박막을 포함하는 전자 소자(Composition for forming oxide semiconductor, inkjet printing process using the same and electronic device including the oxide semiconductor thin film)
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출원번호 |
10-2010-0139354
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출원일자 |
2010-12-30
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등록번호 |
10-1652794
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등록일자 |
2016-08-25
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발명자 |
박경배 | 류명관 | 이광희 | 선종백 | 배중현 | 정웅희 | 이상윤 | 김현재
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출원인 |
삼성전자주식회사 | 연세대학교 산학협력단
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기술 내용 |
금속 산화물 전구체; 졸 안정화제; 및 용매;를 포함하며, 상기 금속 산화물 전구체 1몰당 졸 안정화제를 2몰 이상 포함하는 산화물 반도체 형성용 조성물은 점도가 증가하여 잉크젯 프린팅이 가능며, 균일한 산화물 반도체 박막을 형성할 수 있다.
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