제목 | 전자방출원, 어레이형 전자방출원, 전자방출소자 및 그 제조방법(ELECTRON EMISSION SOURCE, ARRAY ELECTRON EMISSION SOURCE, ELECTORN EMISSION DEVICE AND MANUFACTURING METHOD THEREOF) | ||
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출원번호 | 10-2015-0020670 | 출원일자 | 2015-02-11 |
등록번호 | 10-1686180 | 등록일자 | 2016-12-07 |
발명자 | 이철진 | 신동훈 | 윤기남 | 출원인 | 고려대학교 산학협력단 |
기술 내용 | 본 발명에서는 나노소재 박막의 에지(Edge) 면을 이용하는 전자방출원, 전자방출소자, 어레이형 전자방출원, 전자방출소자의 제조방법, 및 어레이형 전자방출원의 제조방법이 제안된다. 본 발명의 일 실시예에 따른 전자방출소자는 제 1 금속 부재, 제 1 금속 부재와 소정의 간격을 두고 나란하게 배치된 제 2 금속 부재, 및 제 1 금속 부재에 의해 둘러싸여 고정되고 제 2 금속 부재를 향하여 노출된 에지(Edge) 면을 가지는 나노소재 박막을 포함한다. |