제목 | 수분차단막이 형성된 수분차단용 고분자 적층체의 제조방법 및 그를 포함하는 전자소자의 제조방법(METHOD FOR FABRICATING POLYMER LAMINATE WITH MOISTURE BARRIER, AND METHOD FOR FABRICATING ELECTRONIC DEVICE COMPRISING THE SAME) | ||
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출원번호 | 10-2015-0087690 | 출원일자 | 2015-06-19 |
등록번호 | 등록일자 | 0000-00-00 | |
발명자 | 박찬언 | 박선욱 | 출원인 | 포항공과대학교 산학협력단 |
기술 내용 | (a) 금속 산화물 전구체를 유기용매에 용해시켜 금속 산화물 전구체 용액을 제조하는 단계; (b) 고분자 기판 위에 금속 산화물 전구체 용액을 코팅하여 용액이 코팅된 고분자 기판을 제조하는 단계; 및 (c) 용액이 코팅된 고분자 기판을 열처리하면서 광조사하여 금속산화물을 포함하는 수분차단막이 형성된 수분차단용 고분자 적층체를 제조하는 단계;를 포함하는 수분차단막이 형성된 수분차단용 고분자 적층체의 제조방법이 제공된다. 이에 의하여, 대면적의 기판에 적용할 수 있는 간편한 용액공정을 이용하여 고분자 기판상에 금속 산화물을 포함하는 수분차단막을 형성하면서, 열처리와 자외선처리를 함께 수행함으로써 수분차단막의 수분차단 성능이 향상된 고분자 적층체를 제조할 수 있다. |