| 제목 | 고감도 압력 센서(Highly sensitive pressure sensor) | ||
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| 출원번호 | 10-2015-0074948 | 출원일자 | 2015-05-28 |
| 등록번호 | 10-1708113 | 등록일자 | 2017-02-13 |
| 발명자 | 전상훈 | 김태호 | 출원인 | 고려대학교 산학협력단 |
| 기술 내용 | 고감도 압력 센서가 개시된다. 고감도 압력 센서는 기판; 상기 기판 위에 형성되는 복수의 나노 마이크로 구조를 포함하는 나노 구조체층; 상기 나노 구조체층 위에 형성되는 전도층; 및 상기 전도층의 위에 형성되는 전극을 포함한다. | ||
