제목 도전성 입자의 주입 방법(METHOD OF INJECTING CONDUCTIVE PARTICLES)
출원번호 10-2016-0022506 출원일자 2016-02-25
등록번호 10-1853633 등록일자 2018-04-25
발명자 홍문표 | 윤호원 | 양경환 출원인 고려대학교 세종산학협력단
기술 내용 도전성 입자의 주입 방법에 있어서, 매트리스 형태의 격벽들에 의하여 정의되는 셀들 및 상기 셀들 각각에 형성된 구동 전극을 구비하는 셀 플레이트를 준비한다. 한편, 상기 셀들에 각각 대응되는 위치에 형성된 홀들 내에 도전성 박막 패턴을 갖는 캐리어를 준비한다. 이후, 상기 캐리어에 형성된 상기 홀들 각각 내에 도전성 입자들 각각을 위치시킨다. 이후, 상기 셀 플레이트 및 상기 캐리어를 상호 마주보도록 정렬한 상태에서, 상기 구동 전극 및 상기 도전성 박막 패턴 사이의 전위차를 이용하여 상기 홀들 내에 위치한 도전성 입자들 각각을 상기 셀들 각각의 내부로 전사시킨다.
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