| 제목 | 박막 활성화 방법, 박막 트랜지스터 제조 방법 및 기판 처리 장치(THIN FILM ACTIVATION METHOD, METHOD FOR FABRICATING THIN FILM TRANSISTOR AND APPARATUS FOR TREATING SUBSTRATE) | ||
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| 출원번호 | 10-2015-0030152 | 출원일자 | 2015-03-04 |
| 등록번호 | 10-1715250 | 등록일자 | 2017-03-06 |
| 발명자 | 김현재 | 정태수 | 탁영준 | 윤두현 | 이희수 | 박정우 | 김원기 | 출원인 | 연세대학교 산학협력단 |
| 기술 내용 | 본 발명은 박막 활성화 방법, 박막 트랜지스터 제조 방법 및 기판 처리 장치에 관한 것으로, 보다 구체적으로 진동 에너지를 이용하여 박막을 활성화하는 방법, 박막 트랜지스터를 제조하는 방법 그리고 기판을 처리하는 장치에 관한 것이다. 본 발명의 일 실시예에 따른 박막 활성화 방법은 박막에 진동 에너지를 공급하는 단계를 포함할 수 있다. | ||
