| 제목 | 산화물 박막 리페어 방법 및 산화물 박막 소자(METHOD FOR REPARING OF OXIDE THIN FILM AND OXIDE THIN FILM DEVICE) | ||
|---|---|---|---|
| 출원번호 | 10-2015-0052497 | 출원일자 | 2015-04-14 |
| 등록번호 | 10-1727260 | 등록일자 | 2017-04-10 |
| 발명자 | 김현재 | 탁영준 | 김시준 | 윤석현 | 출원인 | 연세대학교 산학협력단 |
| 기술 내용 | 본 발명은 산화물 박막 리페어 방법 및 산화물 박막 소자에 관한 것으로, 본 발명의 일 실시 예에 따른 산화물 박막 리페어 방법은, 산화물 박막의 결함 부분에 산화물을 포함하는 리페어링 물질을 형성하여 상기 산화물 박막을 리페어하는 단계;를 포함할 수 있다. | ||
