제목 | 오믹 전극 구조체를 갖는 반도체 발광 소자 및 그것을 제조하는 방법(SEMICONDUCTOR LIGHT EMITTING DEVICE HAVING OHMIC ELECTRODE STRUCTURE AND METHOD OF FABRICATING THE SAME) | ||
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출원번호 | 10-2010-0078115 | 출원일자 | 2010-08-13 |
등록번호 | 10-1731056 | 등록일자 | 2017-04-21 |
발명자 | 이종람 | 송양희 | 출원인 | 서울바이오시스 주식회사 | 포항공과대학교 산학협력단 |
기술 내용 | 오믹 전극 구조체를 갖는 반도체 발광 소자 및 그것을 제조하는 방법이 개시된다. 본 발명의 일 측면에 따른 반도체 발광 소자는, 상부 표면이 N-면인 발광 구조체와, 상기 발광 구조체 상에 위치하는 오믹 전극 구조체를 포함한다. 여기서, 상기 오믹 전극 구조체는 상기 발광 구조체의 N-면으로부터 하부 확산 방지층, 접촉층, 상부 확산 방지층 및 Al 보호층을 포함한다. 하부 확산 방지층/접촉층/상부 확산 방지층/Al 보호층을 포함하는 다층 구조의 오믹 전극 구조체를 채택함으로써, N-면 반도체층 상의 오믹 접촉 특성 열화를 방지하여 열적 안정성이 우수한 반도체 발광 소자를 제공할 수 있다. |